
| Punkt | Teknisk egenskap | ||
| Rent syre | Syre med hög renhet | Ultrarent syre | |
| Syre (O2) renhet (volymfraktion)/10-2≥ | 99,995 | 99,999 | 99,9999 |
| Väte (H2) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
| Argon (Ar) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
| Kväve (N2) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
| Koldioxid (CO2) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
| Total kolvätehalt (volymfraktion) (beräknad med metan)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
| Vatten (H2O) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Användningsområde: Används huvudsakligen vid framställning av standardgasblandningar, vetenskaplig forskning, produktion av integrerade kretsar och halvledarkomponenter, och andra områden med höga krav på syrgasrenhet.