Маҳсулот
Тетрафториди карбон
Тетрафторметан, ки бо номи тетрафториди карбон низ маълум аст, соддатарин фторкарбон (CF4) мебошад. Он аз сабаби табиати пайванди карбон-фтор қувваи хеле баланд дорад. Он инчунин метавонад ҳамчун галоалкан ё галометан тасниф карда шавад. Аз сабаби пайвастагиҳои сершумори карбон-фтор ва баландтарин электроманфияти фтор, карбон дар тетрафторметан заряди мусбати қисман мусбат дорад, ки чаҳор пайванди карбон-фторро тавассути додани хислати иловагии ионӣ мустаҳкам ва кӯтоҳ мекунад. Тетрафторметан як гази пурқуввати гулхонаӣ мебошад.
Тетрафторметан баъзан ҳамчун яхдон дар ҳарорати паст истифода мешавад. Он дар микрофабрикаи электроника танҳо ё дар якҷоягӣ бо оксиген ҳамчун плазмаи кремний, диоксиди кремний ва нитриди кремний истифода мешавад.
| Формулаи химиявӣ | CF4 | Вазни молекулавӣ | 88 |
| № CAS | 75-73-0 | № EINECS | 200-896-5 |
| Нуқтаи обшавӣ | -184℃ | Нуқтаи болинг | -128,1℃ |
| ҳалшавандагӣ | Дар об ҳалнашаванда | Зичии | 1,96 г/см³ (-184 ℃) |
| Намуди зоҳирӣ | Гази бе ранг, бӯй, оташнашаванда, фишурдашаванда | Ариза | дар раванди плазма барои микросхемаҳои интегралӣ истифода мешавад ва инчунин ҳамчун гази лазерӣ, яхдон ва ғайра истифода мешавад. |
| Рақами ID DOT | UN1982 | НОМИ ДОТ/IMO интиқол: | Тетрафторметан, Гази фишурдашуда ё яхдон R14 |
| Синфи хатари DOT | Синфи 2.2 |
| Адад | Арзиш, дараҷаи I | Арзиш, дараҷаи II | Воҳиди |
| Покӣ | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Дигар фторкарбонҳо | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Кислотагӣ | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *дигар фторкарбонҳо ба C ишора мекунанд2F6、C3F8 | |||
Қайдҳо
1) тамоми маълумоти техникии дар боло зикршуда барои истинод ба шумост.
2) мушаххасоти алтернативӣ барои муҳокимаи минбаъда хуш омадед.
