
| Адад | Амволи техникӣ | ||
| Оксигени тоза | Оксигени тозагии баланд | Оксигени ултра тоза | |
| Оксиген (О2) покӣ (ҳиҷми ҳаҷм)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| Гидроген (H2) мазмун (киссаи ҳаҷм)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
| Мундариҷаи Аргон (Ar) (ҳиссаи ҳаҷм)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| Нитроген (Н2) мазмун (киссаи ҳаҷм)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| Гази карбон (CO2) мазмун (киссаи ҳаҷм)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
| Маҷмӯи умумии карбогидридҳо (қиссаи ҳаҷм) (бо метан ҳисоб карда шудааст)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0.1 |
| Об (Ҳ2О) мӯҳтаво (ҳиссаи ҳаҷм)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Соҳаи татбиқ: асосан дар тайёр кардани омехтаи гази стандартӣ, тадқиқоти илмӣ, истеҳсоли микросхемаҳои интегралӣ ва дастгоҳҳои нимноқилӣ ва дигар соҳаҳо бо талаботи баланд ба тозагии оксиген истифода мешавад.