
| Öğe | Teknik Özellik | ||
| Saf azot | Yüksek saflıkta azot | Ultra saf azot | |
| Azot (N2) saflık (hacim oranı)/10-2≥ | 99,99 | 99.999 | 99.9999 |
| Oksijen (O2) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
| Argon (Ar) içeriği (hacim kesri)/10-6≤ | - | - | 2 |
| Hidrojen (H2) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
| Karbon monoksit (CO) içeriği (hacim oranı)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| Karbondioksit (CO2) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
| Metan (CH4) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| Su (H2O) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |