Продукти
Тетрафторид вуглецю
Тетрафторметан, також відомий як тетрафторид вуглецю, є найпростішим фторвуглецем (CF4). Він має дуже високу міцність зв'язку завдяки природі вуглець-фторового зв'язку. Його також можна класифікувати як галогеналкан або галогенметан. Через множинні вуглець-фторові зв'язки та найвищу електронегативність фтору, вуглець у тетрафторметані має значний позитивний частковий заряд, який зміцнює та скорочує чотири вуглець-фторові зв'язки, надаючи додаткового іонного характеру. Тетрафторметан є потужним парниковим газом.
Тетрафторметан іноді використовується як низькотемпературний холодоагент. Він застосовується в мікровиробництві електроніки окремо або в поєднанні з киснем як плазмовий травитель для кремнію, діоксиду кремнію та нітриду кремнію.
| Хімічна формула | CF4 | Молекулярна маса | 88 |
| Номер CAS | 75-73-0 | Номер EINECS | 200-896-5 |
| Температура плавлення | -184℃ | Точка кипіння | -128,1℃ |
| розчинність | Нерозчинний у воді | Щільність | 1,96 г/см³ (-184℃) |
| Зовнішній вигляд | Безбарвний, без запаху, негорючий, стисливий газ | Застосування | використовується в процесі плазмового травлення для різних інтегральних схем, а також як лазерний газ, холодоагент тощо. |
| Ідентифікаційний номер DOT | ООН1982 | НАЗВА ВІДПРАВЛЕННЯ DOT/IMO: | Тетрафторметан, стиснений або холодильний газ R14 |
| Клас небезпеки DOT | Клас 2.2 |
| Елемент | Значення, I клас | Значення, II клас | Одиниця |
| Чистота | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Інші фторвуглеці | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Кислотність | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *інші фторвуглеці відносяться до C2F6С3F8 | |||
Нотатки
1) усі вищезазначені технічні дані наведені лише для ознайомлення.
2) альтернативна специфікація вітається для подальшого обговорення.
