
| Елемент | Технічна власність |
| Гелій високої чистоти | |
| Чистота гелію He (об'ємна частка)/10-2≥ | 99,999 |
| Вміст неону (Ne) (об'ємна частка)/10-6≤ | 4 |
| Водень (H2) вміст (об'ємна частка)/10-6 ≤ | 1 |
| Кисень (O2) вміст (об'ємна частка)/10-6 ≤ | 1 |
| Вміст аргону (Ar) (об'ємна частка)/10-6 ≤ | |
| Азот (N2) вміст (об'ємна частка)/10-6 ≤ | 2 |
| Вміст чадного газу (CO) (об'ємна частка)/10-6≤ | 0,5 |
| Вуглекислий газ (CO2) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 0,5 |
| Метан (CH4) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 0,5 |
| Вода Н2Вміст O (об'ємна частка)/10-6≤ | 3 |
| Загальний вміст журналу/10-6≤ | 10 |