
| Елемент | Технічна власність | ||
| Чистий азот | Азот високої чистоти | Ультрачистий азот | |
| Азот (N2) чистота (об'ємна частка)/10-2≥ | 99,99 | 99,999 | 99,9999 |
| Кисень (O2) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 50 | 3 | 0,1 |
| Вміст аргону (Ar) (об'ємна частка)/10-6≤ | - | - | 2 |
| Водень (H2) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 15 | 1 | 0,1 |
| Вміст чадного газу (CO) (об'ємна частка)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
| Вуглекислий газ (CO2) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 10 | 1 | 0,1 |
| Метан (CH4) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
| Вода (H2O) вміст (об'ємна частка)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |