
Tetraflorometan, shuningdek, uglerod tetraflorid sifatida ham tanilgan, eng oddiy florokarbondir (CF4). U uglerod-ftor aloqasining tabiati tufayli juda yuqori bog'lanish kuchiga ega. Bundan tashqari, uni haloalkan yoki halometan sifatida tasniflash mumkin. Ko'p uglerod-ftor aloqalari va ftorning eng yuqori elektr manfiyligi tufayli tetraflorometan tarkibidagi uglerod qo'shimcha ion xarakterini ta'minlash orqali to'rtta uglerod-ftor aloqasini mustahkamlaydigan va qisqartiradigan sezilarli musbat qisman zaryadga ega. Tetraflorometan kuchli issiqxona gazidir.
Tetraflorometan ba'zan past haroratli sovutgich sifatida ishlatiladi. U elektronika mikrofabrikasida yakka o'zi yoki kislorod bilan birgalikda kremniy, kremniy dioksidi va kremniy nitridi uchun plazma oqartiruvchi sifatida ishlatiladi.
| Kimyoviy formula | CF4 | Molekulyar og'irlik | 88 |
| CAS raqami. | 75-73-0 | EINECS raqami. | 200-896-5 |
| Erish nuqtasi | -184℃ | Boling nuqtasi | -128,1 ℃ |
| eruvchanligi | Suvda erimaydi | Zichlik | 1,96 g/sm³ (-184 ℃) |
| Tashqi ko'rinish | Rangsiz, hidsiz, yonmaydigan, siqiladigan gaz | Ilova | Turli integral mikrosxemalar uchun plazma bilan ishlov berish jarayonida qo'llaniladi, shuningdek lazer gazi, sovutgich va boshqalar sifatida ishlatiladi. |
| DOT ID raqami | UN1982 | DOT/IMO YUKLASH NOMI: | Tetraflorometan, siqilgan yoki sovutgichli gaz R14 |
| DOT xavf klassi | Sinf 2.2 |
| Element | Qiymat, I daraja | Qiymat, II daraja | Birlik |
| Poklik | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Boshqa florokarbonlar | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Kislotalik | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *boshqa ftoruglerodlar C ga tegishli2F6、C3F8 | |||
Eslatmalar
1) yuqorida ko'rsatilgan barcha texnik ma'lumotlar sizning ma'lumotingiz uchun.
2) muqobil spetsifikatsiya keyingi muhokama uchun qabul qilinadi.