
| Mục | Sở hữu kỹ thuật | ||
| Nitơ tinh khiết | Nitơ có độ tinh khiết cao | Nitơ siêu tinh khiết | |
| Nitơ (N2) độ tinh khiết (phần thể tích)/10-2≥ | 99,99 | 99,999 | 99,9999 |
| Oxy (O2) hàm lượng (phần thể tích)/10-6≤ | 50 | 3 | 0,1 |
| Hàm lượng Argon (Ar) (phần thể tích)/10-6≤ | - | - | 2 |
| Hiđrô (H2) hàm lượng (phần thể tích)/10-6≤ | 15 | 1 | 0,1 |
| Hàm lượng cacbon monoxit (CO) (phần thể tích)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
| Cacbon điôxít (CO2) hàm lượng (phần thể tích)/10-6≤ | 10 | 1 | 0,1 |
| Mêtan (CH4) hàm lượng (phần thể tích)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
| Nước (H2O) hàm lượng (phần thể tích)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |