פּראָדוקטן
הויך ריינקייט קסענאָן און אולטראַ-ריין קסענאָן (Xe: 5N, 5.5N, 6N)
| אייטעם | טעכנישע אייגנשאַפט | ||
| הויך ריינקייט קסענאָן גיגאבייט/ט5828-2006 | אולטרא-ריינע קסענאן | ||
| קסענאָן (Xe) ריינקייט (וואָלומען בראָכצאָל)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
| שטיקשטאָף (N2) אינהאַלט (וואָלומען בראָכצאָל)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
| זויערשטאָף (O2) אינהאַלט (וואָלומען בראָכצאָל)/10-6≤ | 1.5(O2+אר) | 0.5(O2+אר) | 0.1 |
| אַרגאָן (Ar) אינהאַלט (וואָלומען בראָכצאָל)/10-6≤ | 0.05 | ||
| וואַסערשטאָף (H2) אינהאַלט (וואָלומען בראָכצאָל)/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
| קוילן מאָנאָקסייד (CO) אינהאַלט (וואָלומען בראָכצאָל)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05(CO+CO2) |
| קוילן דייאַקסייד (CO2) אינהאַלט (וואָלומען בראָכצאָל)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
| מעטאַן (CH4) אינהאַלט (וואָלומען בראָכצאָל)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
| וואַסער (ה2O) אינהאַלט (וואָלומען בראָכצאָל)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| קריפּטאָן (Kr) אינהאַלט (וואָלומען בראָכצאָל)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| ניטראָס אָקסייד (N2O) אינהאַלט (וואָלומען בראָכצאָל)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05 |
| פלואריד (C2F6) אינהאַלט (וואָלומען בראָכצאָל)/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0.05 |
| פלואָריד (SF6) אינהאַלט (וואָלומען בראָכצאָל)/10-6≤ | נישט פֿאַראַן | נישט פֿאַראַן | 0.05 |
אַפּליקאַציע פעלדער: דער הויפּט געניצט אין האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע, אַעראָספּייס, עלעקטרישע ליכט מקור אינדוסטריע, מעדיצינישע באַהאַנדלונג, עלעקטריש וואַקוום, טונקל מאַטעריע פאָרשונג, לאַזער און אנדערע פעלדער
שרייב דיין מעסעדזש דא און שיקט עס צו אונז
